產(chǎn)品特征:

最大行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺良好接地設(shè)計(jì)防止雜訊干擾 Z向震動可達(dá)奈米等級以下最大速度可達(dá)5m/s 標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下位置回饋系統(tǒng)解析度最低可達(dá)50nm

產(chǎn)品應(yīng)用:

半導(dǎo)體設(shè)備
自動化搬送
FPD設(shè)備
太陽能制造設(shè)備
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鉆石切割設(shè)備
AOI檢測設(shè)備
工具機(jī)